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半导体芯片可靠性及模型研究 PAGE/68

4. 基于新型二维材料的器件可靠性与辐射效应研究

项目简介

该项目主要研究新型二维材料（如石墨烯）的器件可靠性。研究不同材料和不同制备工艺制备的二维材料器件在电学、
温度和辐射应力下的电学表征、失效机理和评价方法，为新材料和新工艺的研发以及实质应用提供实验和理论支持，并为
二维材料器件的实际应用以及高可靠应用提供相关研究基础。

不同工艺条件下的石墨烯晶体管稳定性研究

项目成熟度

预先研究

转化方式

技术许可