Page 17 - 东莞市厚街中学2025届高三毕业纪念

机器人与智能系统关键技术研究 PAGE/16

4. 电容式微加速度传感器的启动漂移机理研究

项目简介

启动漂移问题是当前 MEMS 惯性器件研究的难点之一，漂移的存在严重阻碍其在诸如惯性导航、运动捕捉及航空航
海等高精度领域的应用。前期研究发现，电介质充电是引起漂移的主要因素之一，其原因在于电荷捕捉或介质极化是一个
缓慢的过程，需要相当长一段时间达到电荷平衡。项目以硅 - 玻璃键合结构的叉指式微加速度传感器为研究对象，完成微
加速度传感器的启动漂移模型建立，研究启动漂移机理，提出屏蔽玻璃电场及硅结构表面氧化物去除2项启动漂移抑制技术。

G R G

V o
C G1 C G2
C p1
R o
C p3 C p5

C ge1 C pe1 C be1 C ge2 C pe2 C be2

C G5 C G6
C p4 C ge3 C pe3 C be3 C ge4 C pe4 C be4 C p6
+V -V
C p2
C G3 C G4
R IP R IN

微加速度计结构及等效模型

项目成熟度

基础理论研究，已结题。

转化方式

技术合作