Page 31 - 东莞市厚街中学2025届高三毕业纪念

智能装备与控制技术研究 PAGE/30

9. APS 自动上料设备技术开发项目简介

项目简介

本项目聚焦芯片前端制造工艺段，以六轴机械臂为核心载体，开展多功能一体式末端夹具的创新设计与应用研究。研
究内容涵盖末端夹具的结构优化、功能集成以及与机械臂的协同控制开发，通过精密的机械结构设计与智能控制算法，使
末端夹具具备多种物料抓取、精准定位及自适应调整能力，可适配不同规格的物料盘。

项目应用了 AGV 自动导引技术、机械臂运动规划算法、视觉识别定位系统等关键技术。AGV 能够根据预设路径自动
搬运物料栈至指定工位，机械臂结合视觉识别系统，可精准识别物料盘位置与姿态，并依据芯片制造工艺要求，通过优化
后的运动规划算法，按照既定顺序依次抓取物料盘，准确放置到各工艺工位。

该项目有效解决了芯片前端制造中人工上料效率低、错误率高的行业痛点。经实际验证，相比传统人工操作，生产效
率显著提升，人工错误率降低幅度超过 90%，大幅提高了生产的稳定性与产品良率。项目成果主要应用于芯片制造企业的
前端工艺生产环节，助力企业实现生产流程的智能化升级，降低人力成本，提升行业竞争力。

技术指标

序号 指标名称 参数
1 执行速率 3Pcs/min
2 额定功率 1.1KW
3 驱动方式 电动 / 气动

项目成熟度

工业化生产阶段，稳定运行超 2 年

转化方式

技术许可